학과주요장비
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LEO1450 SEM

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  • 작성자최고관리자
  • 2016-10-12

본문

1. Spatial Resolution
    - Tungsten : 3.5 nM
    - LaB6 : 2.5 nM
    - Variable Pressure mode : 5.5 nM
2. Acceleration Voltage
    - Range : 200 V to 30 kV
3. Probe Current
    - Range : 1 pA to 1uA
4. Magnification
    - Range : 15X to 300kX